有机废气净化的热氧化法是基于废气中有机化合物可以燃烧氧化的特性，其目的是：通过燃烧将废气中可氧化的组分转化为无害物质。在废气中含CHO化合物的情况下，即转化为CO2和H2O。

1.     按照反应温度的不同分类

热力氧化：把有机废气加热到760℃以上，使废气中的挥发性有机物在燃烧室中氧化分解成CO2和H2O，净化效率高达99%。常见的有TO、RTO。

催化氧化：采用催化剂可以降低有机废气氧化所需的活化能，并提高反应速率，从而可在较低的温度下（~300℃）进行氧化燃烧，使有机物转化为无害物质。常见的有CO、RCO

2.     按照热回收效率的不同分类

蓄热式氧化：是在热氧化装置中加入蓄热式热交换器（一般指蓄热陶瓷），预热 VOC废气，再进行氧化反应，蓄热式热交换器的热回收率已能达到95%以上。常见的有RTO、RCO。

预热式氧化：是在热氧化装置中加入预热式热交换器（一般指金属换热器），预热 VOC废气，再进行氧化反应，热交换器的热回收率一般在50~60%。常见的有TO、CO。

3.     RTO处理技术

蓄热氧化技术RTO(RegenerativeThermal Oxidizer，简称RTO)把有机废气加热到760℃以上，使废气中的挥发性有机物在燃烧室中氧化分解成CO2和H2O ，氧化产生的高温气体流经特制的陶瓷蓄热体，使陶瓷体升温而“蓄热”，此蓄热用于预热后续进入的有机废气，从而节省废气升温的燃料消耗。净化效率高达99%，热回收效率高达95%。

4.     CO处理技术

催化燃烧技术CO（Catalytic  Oxidizer  ，简称CO）可以在较低温度（300~500℃）下实现对挥发性有机物在催化剂上进行氧化分解反应，生成CO2和H2O，是一种节能高效的废气处理技术之一。借助催化剂可使有机废气在较低的起燃温度条件下发生无焰燃烧，并氧化分解为 CO2 和 H2O，同时放出大量热。换热效率一般为50~60%，净化效率高达98%，取决于催化剂。

5.     RCO处理技术

蓄热催化氧化技术RCO（Regenerative  Catalytic  Oxidizer  ，简称RCO）是RTO技术与CO技术的结合技术，把有机废气加热到300℃，使废气中的挥发性有机物在催化剂上中氧化分解成CO2和H2O ，氧化产生的高温气体流经特制的陶瓷蓄热体，使陶瓷体升温而“蓄热”，此蓄热用于预热后续进入的有机废气，从而节省废气升温的燃料消耗。净化效率高达98%，热回收效率高达95%。